Knochenleitungssensor-Chip-Herstellungsverfahren

1. Die vorliegende Technologie bezieht sich auf das technische Gebiet von mikroelektromechanischen System(Mems)-Vorrichtungen, insbesondere auf einen Knochenleitungssensorchip.

Hintergrundtechnik:

2. Mit der schnellen Entwicklung der MEMS-Technologie entstand der MEMS-Knochenleitungssensorchip (im Folgenden als Knochenleitungssensorchip bezeichnet). Ein herkömmlicher Knochenleitungssensorchip umfasst üblicherweise eine Rückplatte und eine gegenüberliegend angeordnete schwingende Membran, und eine Masse ist an der von der Rückplatte abgewandten Seite der schwingenden Membran aufgehängt. Der Masseblock fühlt die durch die Vibration der Stimmbänder erzeugte Knochenvibration und erzeugt eine mechanische Vibration. Die mechanische Schwingung des Masseblocks treibt die Schwingmembran zum Schwingen, wodurch der Abstand zwischen der Rückplatte und der Schwingmembran verändert wird und dann das Kapazitätssignal verändert wird, um die Erfassung des Schallsignals zu realisieren. . Die Empfindlichkeit des herkömmlichen Knochenleitungssensorchips ist jedoch nicht sehr stabil, was sein Anwendungsgebiet einschränkt.

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