Die technischen Realisierungselemente des Knochenleitungssensorchips.

Technische Umsetzungselemente:

3. Angesichts dessen zielen die Ausführungsformen der vorliegenden Technologie darauf ab, einen Knochenleitungssensorchip bereitzustellen, um das Problem der instabilen Empfindlichkeit des Knochenleitungssensorchips im Stand der Technik zu lösen.

4. Die vorliegende Technologie stellt einen Knochenleitungssensorchip bereit, umfassend: eine vibrierende Membran; einen Massenblock, der sich auf einer Seite der schwingenden Membran befindet; und eine Anschlagstruktur zum Begrenzen der Vibrationsamplitude des Massenblocks in einer Richtung parallel zu der Vibrationsmembran. Die Stoppstruktur wird verwendet, um die Amplitude der horizontalen Schwingung des Masseblocks zu begrenzen, wodurch der Interferenzgrad der horizontalen Schwingung mit der vertikalen Schwingung verringert wird, sichergestellt wird, dass die vertikale Schwingung des Masseblocks stabiler ist, und die Empfindlichkeit weiter verbessert wird Einheitlichkeit des Chips.

5. In einer Ausführungsform umfasst die Stopperstruktur eine koplanare erste Stopperschicht und eine zweite Stopperschicht, wobei die erste Stopperschicht zwischen dem beweglichen Bereich und der Masse angeordnet ist und die zweite Stopperschicht und der feststehende Bereich überlagert sind; es gibt eine erste Lücke zwischen der ersten Stoppschicht und der zweiten Stoppschicht.

In einer Ausführungsform sind die Materialien der ersten Stoppschicht und der zweiten Stoppschicht beide Polysilizium.

7. In einer Ausführungsform ist auch eine Opferschicht enthalten, und die Opferschicht enthält einen zentralen Bereich, der in Intervallen angeordnet ist, und einen Randbereich, der den zentralen Bereich umgibt; der mittlere Bereich befindet sich zwischen dem beweglichen Bereich und der ersten Stoppschicht, und der Randbereich befindet sich zwischen dem feststehenden Bereich und dem Randbereich. Zwischen den zweiten Stoppschichten; der zentrale Bereich und der Randbereich haben einen zweiten Abstand, der zweite Abstand ist größer als der erste Abstand und kommuniziert mit dem ersten Abstand.

8. In einer Ausführungsform umfasst es auch eine Stützstruktur; die Stützstruktur umfasst einen ersten Hohlraum, und der erste Hohlraum umfasst eine Öffnung; der Masseblock befindet sich im ersten Hohlraum, der bewegliche Bereich der Schwingmembran deckt die Öffnung ab und der feststehende Bereich ist mit dem Träger verbunden. Strukturelle Verbindung.

9. In einer Ausführungsform ist das Verhältnis des ersten Abstands zur Länge des ersten Hohlraums größer als null und kleiner oder gleich 1/10 in einem Schnitt, der durch die Mittellinie der Prüfmasse verläuft.

In einer Ausführungsform umfasst die Anschlagstruktur einen ersten Hohlraum, der Masseblock ist in dem ersten Hohlraum angeordnet und die Seitenwand des Masseblocks und die Wand des ersten Hohlraums sind voneinander beabstandet.

11. In einer Ausführungsform ist das Verhältnis des Mindestabstands zwischen der Seitenwand der Masse und der Wand des ersten Hohlraums zur Länge des ersten Hohlraums größer als null und kleiner oder gleich 1/10.

12. In einer Ausführungsform umfasst die Prüfmasse einen Körperabschnitt und mindestens einen Vorsprung an einer Seitenwand des Körperabschnitts.

13. In einer Ausführungsform enthält die Prüfmasse einen zweiten Hohlraum.

14. In einer Ausführungsform umfasst der erste Hohlraum eine Öffnung; die Membran umfasst einen beweglichen Bereich und einen Randbereich, der den beweglichen Bereich umgibt; der bewegliche Bereich deckt die Öffnung ab und der feststehende Bereich ist mit der Anschlagstruktur verbunden.

15. In einer Ausführungsform umfasst es auch eine Bodenplatte auf der Seite des Massenblocks, die von der vibrierenden Membran entfernt ist; die Stopperstruktur umfasst mindestens einen Vorsprung, der auf der Oberfläche der Bodenplatte nahe dem Masseblock angeordnet ist, und das Ende jedes Vorsprungs ist Die Oberfläche geht durch die Masse hindurch; in einer Richtung parallel zur Membran gibt es einen Zwischenraum zwischen der Seitenwand jedes Vorsprungs und der Seitenwand der Masse.

16. In einer Ausführungsform umfasst das erhabene Material Silizium, Siliziumoxid und Klebstoff.

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