Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils für eine Sensoreinrichtung oder eine Mikrofoneinrichtung

Technische Umsetzungselemente:

3. Die vorliegende Erfindung schlägt ein mikromechanisches Bauteil für eine Sensorvorrichtung oder eine Mikrofonvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauteils für eine Sensorvorrichtung oder eine Mikrofonvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 5 vor.

4. Vorteile der Erfindung

5. Der erfindungsgemäße Aufbau basierend auf mindestens einer Opferschicht aus mindestens einem elektrisch isolierenden Opferschichtmaterial des erfindungsgemäß vorgeschlagenen mikromechanischen Bauelements und desselben die erfindungsgemäße Ausgestaltung mindestens eines isolierenden Bereichs aus at des mindestens einen elektrisch isolierenden Materials des isolierenden Opferschichtmaterials, um die Kavität des mikromechanischen Bauelements auszubilden, kann ein zum teilweisen Entfernen der mindestens einen Opferschicht geeigneter Prozess durchgeführt werden, ohne dass man sich um eine Beschädigung oder Entfernung kümmern muss mindestens ein Isolationsbereich. Die Erfindung ermöglicht es somit auf einfache Weise, das entsprechende erfindungsgemäße mikromechanische Bauelement zwischen der Membranmaterialschicht und der Elektrodenmaterialschicht mit mindestens einem isolierenden Bereich auszustatten, der vorteilhaft geeignet ist, die Elektrodenstruktur von der Membran elektrisch zu isolieren. elektrisches Isolieren und/oder Trennen mindestens eines Restbereichs mindestens einer Opferschicht von der Kavität. Die Erfindung verbessert somit das erfindungsgemäße mikromechanische Bauelement gegenüber dem Stand der Technik und trägt zusätzlich dazu bei, die Arbeitskosten und das erfindungsgemäße mikromechanische Bauelement zur Herstellung des erfindungsgemäßen mikromechanischen Bauelements kostengünstiger zu machen.

6. Der mindestens eine isolierende Bereich zum Abtrennen des mindestens einen Restbereichs der mindestens einen Opferschicht kann insbesondere als "Ätzschutz" gegen unerwünschtes Ätzen des mindestens einen Restbereichs beim Aufbau der Kavität wirken. Gleichzeitig wird zumindest ein aus zumindest einem elektrisch isolierenden Material aufgebauter Isolierbereich zum Abtrennen des zumindest einen Restbereichs erreicht.

Kontaktiere uns:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894