Technische Merkmale Eine Kältemittelsteuerung

Technische Merkmale:

1. Ein Kältemittelsteuerungssystem zur Steuerung des Durchflusses eines Kältemittels in einem zirkulierenden Strömungspfad, der mit einer Kompressionszone verbunden ist, und zirkuliert das kältemittel, das durch die Kompressionszone komprimiert wird, so dass das Kältemittel und ein Kühlkörper Für den Wärmeaustausch umfasst das Kältemittelsteuerungssystem: einen Lagerbereich zur Lagerung des Kältemittels; Das Kältemittel im auslassseitigen Rohr fließt durch das erste Rohr in den Lagerbereich; ein zweites Rohr ist mit einem einlassseitigen Rohr verbunden, das den Zirkulationsströmungspfad bildet, und befindet sich auf einer Einlassseite des Verdichtungsbereichs, so dass der Speicherbereich Das Kältemittel fließt durch das zweite Rohr in das Einlassseitenrohr; ein drittes Rohr ist mit dem Einlassseitenrohr verbunden, das so geformt ist, dass die Wärme des dritten Rohrs niedriger ist als die Wärme des Auslassrohrs, wodurch das Kältemittel, das Wärme auf den Speicherbereich überträgt, ermöglicht wird; ein erstes Ein-Aus-Ventil, das in der ersten Rohrleitung angeordnet ist, und das Kältemittel im Auslassseitenrohr kann durch Schalten des ersten Ein-Aus-Ventils in den Lagerbereich fließen; ein zweiter Schalter Das Ventil ist in der zweiten Rohrleitung angeordnet, und das Kältemittel im Lagerbereich kann durch Schalten des zweiten Ein-Aus-Ventils in das Einlassseitenrohr fließen; ein drittes Ein-Aus-Ventil ist in der dritten Rohrleitung angeordnet, und durch Schalten des dritten Durch das Schaltventil kann das Kältemittel in einem vorgeschalteten Teil der dritten Rohrleitung, der mit dem Lagerbereich verbunden ist, in den Teil der dritten Rohrleitung fließen, der sich auf der Seite des Lagerbereichs befindet; und ein Schaltersteuerungsbereich gemäß einer Einstellung temperaturregler zum Öffnen oder Schließen des ersten Ein-Aus-Ventils, des zweiten Ein-Aus-Ventils und des dritten Ein-Aus-Ventils. 2. Kältemittelregelsystem nach Anspruch 1, wobei, wenn die eingestellte Temperatur des Kühlkörpers höher als eine kritische Temperatur des Kältemittels ist, der Schaltersteuerbereich das erste Schaltventil und das dritte Schaltventil öffnet und das zweite Ein-Aus-Ventil schließt; Wenn die eingestellte Temperatur des Kühlkörpers niedriger ist als die kritische Temperatur des Kältemittels, schließen Sie das erste Ein-Aus-Ventil und das dritte Ein-Aus-Ventil und öffnen Sie das zweite Ein-Aus-Ventil . 3. Kältemittelregelsystem nach Anspruch 2, wobei zumindest dann, wenn ein durch ein vorgegebenes Verfahren erhaltener Betriebsdruckwert der Verdichtungszone höher als ein Schwellenwert ist oder die eingestellte Temperatur des Kühlkörpers höher ist als die des Kältemittels Bei der kritischen Temperatur öffnet die Schaltersteuerzone das erste Schaltventil und das dritte Schaltventil, und schließt das zweite Schaltventil; zumindest wenn ein durch das vorgegebene Verfahren erhaltener Betriebsdruckwert der Verdichtungszone unter dem Schwellenwert liegt oder wenn die eingestellte Temperatur des Kühlkörpers niedriger ist als die kritische Temperatur des Kältemittels, werden das erste Ein-Aus-Ventil und das dritte Ein-Aus-Ventil geschlossen und das zweite Ein-Aus-Ventil geöffnet. 4. Kältemittelsteuerung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner umfassend: ein viertes Rohr, das mit dem Auslassseitenrohr verbunden ist, das so ausgebildet ist, dass die Wärme des vierten Rohres höher ist als die des ersten Rohres. Die Wärme der drei Rohrleitungen, wodurch die Wärme auf das Kältemittel im Speicherbereich übertragen werden kann; und ein viertes Ein-Aus-Ventil, das in der vierten Rohrleitung angeordnet ist, um der vierten Rohrleitung durch Umschalten des vierten Ein-Aus-Ventils Platz zu machen Das Kältemittel in einem vorgeschalteten Teil, der mit dem Speicherbereich verbunden ist, fließt in die Seite des Speicherbereichs der vierten Rohrleitung; wobei der Schaltersteuerbereich gesteuert wird, um sich entsprechend der eingestellten Temperatur des Kühlkörpers zu öffnen oder zu steuern Das erste Ein-Aus-Ventil, das zweite Ein-Aus-Ventil, das dritte Ein-Aus-Ventil und das vierte Ein-Aus-Ventil sind geschlossen. 5. Kältemittelregelsystem nach Anspruch 4, wobei, wenn die eingestellte Temperatur des Kühlkörpers höher ist als die kritische Temperatur des Kältemittels, der Schaltersteuerbereich das erste Schaltventil und das dritte Schalterventil öffnet und das zweite Ein-Aus-Ventil und das vierte Ein-Aus-Ventil schließt; Wenn die eingestellte Temperatur des Kühlkörpers niedriger ist als die kritische Temperatur des Kältemittels, schließen Sie das erste Ein-Aus-Ventil und das dritte Ein-Aus-Ventil und schalten Sie das zweite Ein-Aus-Ventil und das vierte Ein-Aus-Ventil ein. 6. Kältemittelsteuerung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei durch Bildung eines ersten Unterrohrs

Und ein zweites Unterrohr, um zu verhindern, dass das Kältemittel im Speicherteil 30 in das auslassseitige Rohr oder das einlassseitige Rohr durch das erste Unterrohr und das zweite Unterrohr umgekehrt, das erste Unterrohr und das erste Unterrohr fließt Jeder Teil der beiden Unterrohre befindet sich über anderen Teilen des Kältemittelsteuerungssystems nach Anspruch 1, und umfasst ferner eine Zuflussverhinderungszone, um zu verhindern, dass Fremdstoffe durch die erste Rohrleitung in die Lagerzone gelangen. 7. Kältemittelsteuerung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei durch Bildung eines ersten Unterrohrs und eines zweiten Unterrohrs verhindert werden kann, dass das Kältemittel im Speicherteil durch das erste Unterrohr gelangt. Das Rohr und das zweite Unterrohr fließen in umgekehrter Richtung in das auslassseitige Rohr oder das einlassseitige Rohr, und die Teile des ersten Unterrohrs und des zweiten Unterrohrs befinden sich über anderen Teilen. 8. Kältemittelregelsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, ferner umfassend einen Temperatureinstellbereich, wobei der Temperatureinstellbereich eine Temperatur des Kältemittels im Lagerbereich einstellt. 9. Kältemittelsteuerung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Kältemittel Kohlendioxid ist. 10. Kältemittelsteuerung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei der Kühlkörper zur Kühlung eines Kältemittels eines Halbleiterverarbeitungssystems verwendet wird. 11. Kühlsystem, das ein Kältemittel zur Kühlung eines Kühlkörpers verwendet, wobei das Kühlsystem Folgendes umfasst: eine Kompressionszone zum Komprimieren des Kältemittels; ein Zirkulationsströmungspfad einschließlich eines Kühlkörper-Seitenrohrs, das mit dem Kühlkörper-Seitenrohr verbunden ist Die Kompressionszone befindet sich an der Seite des Kühlkörpers und zirkuliert das Kältemittel, so dass das in der Kompressionszone komprimierte Kältemittel Wärme mit dem Kühlkörper austauscht; eine Kälteanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 10 Agentenkontrollsystem; und ein Wärmeaustauschbereich, der auf dem Seitenrohr des Kühlkörpers angeordnet ist und es dem Kältemittel im Seitenrohr des Kühlkörpers ermöglicht, Wärme mit dem Kühlkörper auszutauschen. 12. Kühlsystem nach Anspruch 11, wobei der Wärmetauscherbereich einen ersten Wärmetauscherbereich und einen zweiten Wärmetauscherbereich umfasst, der erste Wärmetauscherbereich den Kühlkörper kühlt und der zweite Wärmetauscherbereich den durch die erste Wärmetauscherzone gekühlten Kühlkörper erwärmt; wobei das Kühlkörper-Seitenrohr ein erstes Kühlkörper-Seitenrohr und ein zweites Kühlkörper-Seitenrohr umfasst und das erste Kühlkörper-Seitenrohr sich in der ersten Wärmeaustauschzone befindet Das Seitenrohr des zweiten Kühlkörpers befindet sich auf der Seite der zweiten Wärmeaustauschzone, wobei das Kühlsystem weiterhin umfasst: einen Erfassungsbereich zur Erfassung der Temperatur des Auslassseitenrohrs oder des Einlassseitenrohrs Die Temperatur; eine fünfte Rohrleitung, die mit einem vorgeschalteten Teil des ersten Wärmeaustauschbereichs des ersten Kühlkörperseitenrohrs und des Einlassseitenrohrs verbunden ist; ein fünftes Ein-Aus-Ventil ist in der fünften Rohrleitung vorgesehen, das fünfte Ein-Aus-Ventil wird verwendet, um die Menge des Kältemittels im Kühlkörper-Seitenrohr einzustellen, das in das Einlassseitenrohr fließt; und der Ein-Aus-Steuerbereich steuert den Öffnungswinkel des fünften Ein-Aus-Ventils entsprechend einem Erkennungsergebnis des Erfassungsbereichs. 13. Kühlsystem nach Anspruch 12, ferner umfassend: ein sechstes Ein-Aus-Ventil, das in einem vorgeschalteten Teil der ersten Wärmeaustauschzone im Seitenrohr des ersten Kühlkörpers angeordnet ist, und das sechste Ein-Aus-Ventil stellt das erste ein Die Menge der Kälte, die in die erste Wärmeaustauschzone im Kühlkörper-Seitenrohr fließt; und ein siebtes Ein-Aus-Ventil, das an einem nachgeschalteten Teil der zweiten Wärmeaustauschzone im zweiten Kühlkörperseitenrohr angeordnet ist, und das siebte Ein-Aus-Ventil stellt die Menge des Kältemittels ein, das Wärme mit der zweiten Wärmeaustauschzone austauscht und in das Einlassseitenrohr fließt; wobei die Schaltersteuerzone das sechste Schaltventil und das Kältemittel entsprechend einer Temperatur des Kühlkörpers steuert, die durch ein vorgegebenes Verfahren erhalten wird Der Öffnungswinkel des siebten Ein-Aus-Ventils. 14. Kühlsystem nach Anspruch 12 oder Anspruch 13, ferner umfassend eine Verdichtungsregelzone, die Kompressionsregelzone

Die Kompressionszone wird entsprechend dem Detektionsergebnis der Detektionszone und der Temperatur des Kühlkörpers gesteuert, die durch die vorgegebene Methode erhalten wird. 15. Kühlsystem nach einem der Ansprüche 12 bis 14, ferner umfassend einen Kältemittelwärmetauscherbereich, wobei der Kältemittelwärmeaustauschbereich dem ersten Wärmeaustausch des ersten Kühlkörperseitenrohrs weicht Das Kältemittel im vorgeschalteten Teil der Zone tauscht Wärme mit dem Kältemittel im nachgeschalteten Teil der zweiten Wärmeaustauschzone im zweiten Kühlkörperseitenrohr aus

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