Herstellungsverfahren einer MEMS-Vorrichtung
Sep 16, 2022
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technischen Bereich
1. Die vorliegende Offenbarung betrifft eine MEMS-Vorrichtung mit verbesserter Belastungsverteilung.
Hintergrundtechnik:
2. Bekanntermaßen sind elektronische MEMS ("Micro Electro Mechanical Systems")-Vorrichtungen, wie Aktuatoren und/oder Sensoren, typischerweise auf einem Substrat ausgebildet, das einen Hohlraum aufnimmt, und enthalten bewegliche Strukturen, die von dem oberen Hohlraum aufgehängt und durch das Gummiband begrenzt sind Element zum festen Bereich. Das Substrat, die bewegliche Struktur und das elastische Element können einstückig sein und sind typischerweise aus einem Halbleitermaterial wie Silizium gebildet.
3. Diese elektronischen Geräte umfassen auch: eine oder mehrere Betätigungs- und/oder Erfassungsstrukturen, die mit der beweglichen Struktur gekoppelt sind; und elektrische Steuerschaltungen, die in demselben Substrat integriert oder in unterschiedlichen Substraten gebildet sind, und eine Kopplung mit der Betätigungs- und/oder Erfassungsstruktur kann elektrische Ansteuersignale an die Betätigungsstruktur liefern und/oder elektrische Erfassungssignale von der Erfassungsstruktur empfangen.
4. Im Detail kann die Betätigungsstruktur eine Verschiebung, z. B. eine Drehung, der beweglichen Struktur bewirken, wenn sie durch ein entsprechendes elektrisches Antriebssignal gesteuert wird. In ähnlicher Weise ist die Erfassungsstruktur so konfiguriert, dass sie entsprechende elektrische Signale erzeugt, die eine Funktion der Betriebsbedingungen der beweglichen Struktur und beispielsweise eine Funktion des Drehbereichs der beweglichen Struktur sind.
5. Die elektrische Steuerschaltung und die Betätigungs- und/oder Erfassungsstruktur sind typischerweise elektrisch miteinander durch leitfähige Bahnen verbunden, die z. B. aus einem Stapel leitfähiger Schichten gebildet sind.
6. Stromschienen erstrecken sich im Allgemeinen über feste Bereiche, elastische Elemente und manchmal teilweise über bewegliche Strukturen.
7. Im Gebrauch führt eine Verschiebung der beweglichen Struktur zu einer Verformung, z. B. einem Verdrehen, der elastischen Elemente, die die bewegliche Struktur auf den feststehenden Bereich begrenzen.
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